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鉭酸鋰(LiO3Ta)

鉭酸鋰(LiO3Ta)


材料特性

材料3“4”6“鉭酸鋰晶片(聲學(xué)級(jí)/光學(xué)級(jí))
切型X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ   可定制切角
居里溫度605°C±3°C
摻雜Fe 鐵


加工能力

表面處理表面拋光/雙面拋光單面研磨雙面研磨
厚度0.18/0.25/0.35/0.50/1.00 + mm      /      0.25/0.35/0.50/1.00+mm
TTV< 1~5μm
BOW± (25μm ~40um )
Warp<= 35μm
LTV(5mm×5mm)<1.5 um
PLTV(<0.5um)≥98% (5mm*5mm)   邊緣2mm除外
邊緣符合 SEMI M1.2@with GC800#  .regular at C typed
定向平臺(tái)根據(jù)要求定制
拋光面粗糙度Ra≤5A
反面粗糙度 Ra:0.5-1.0μm GC#1000
倒角符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276
裂縫、鋸痕、污漬無(wú)



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