材料特性
| 材料 | 3“4”6“鉭酸鋰晶片(聲學(xué)級(jí)/光學(xué)級(jí)) |
| 切型 | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ 可定制切角 |
| 居里溫度 | 605°C±3°C |
| 摻雜 | Fe 鐵 |
加工能力
| 表面處理 | 表面拋光/雙面拋光單面研磨雙面研磨 | |
| 厚度 | 0.18/0.25/0.35/0.50/1.00 + mm / 0.25/0.35/0.50/1.00+mm | |
| TTV | < 1~5μm | |
| BOW | ± (25μm ~40um ) | |
| Warp | <= 35μm | |
| LTV(5mm×5mm) | <1.5 um | |
| PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) 邊緣2mm除外 | |
| 邊緣 | 符合 SEMI M1.2@with GC800# .regular at C typed | |
| 定向平臺(tái) | 根據(jù)要求定制 | |
| 拋光面 | 粗糙度Ra≤5A | |
| 反面 | 粗糙度 Ra:0.5-1.0μm GC#1000 | |
| 倒角 | 符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276 | |
| 裂縫、鋸痕、污漬 | 無(wú) | |